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微机电系统(MEMS)制造技术
¥101.1(7.9折)定价:¥128.0微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实现微机电器件的制造技术起源于微电子和半导体，但是又在微电子和半导体工艺的基础上发展和集成，具备自己独特的特色。国内目前有关MEMS制造技术的专著或者是直接翻译国外著作，或者是脱胎于半导体工艺的相关内容，缺乏真正结合国内MEMS发展条件，结合M
